纳米等离子清洗仪用来在样品或样品杆在插入电镜之前对其进行及时有效清洗，去除样品表面碳氢污染物，防止在观察和分析过程中发生积碳现象。

技术优势：

> 多功能：能够同时清洗样品、样品杆及各类样品台

> 电感耦合方式激发等离子体，采用downstream 处理去除离子及电子成分

> 无溅射效应，不改变样品本身化学组成及结构

> 可同时清洗两根透射电镜样品杆

> 适配所有品牌所有型号透射电镜样品杆

> 满足光阑等各类大样品及电镜部件清洗，且有专门光阑清洗所需的载台

> 可同时通入三路气体，且可以任意组分任意比例进行自动混合

> 触屏控制操作方便

> 快速真空换样设计

?碳膜清洗，采用5% 氧气加95%氩气，功率40W，清洗180s，碳膜无破损，证明纳米等离子清洗所采用的Downstream设计，可有效去除传统等离子清洗溅射效应。